空間配置突顯防災問題
針對化學原料製程安全主要牽涉到空間配置和設備運轉等問題，由於高科技廠房生產線的變化極大，往往因應產能問題更改生產設備的空間配置和防火區劃，導致原本安全的區劃設計產生建築結構和防火失效等問題。 有關室內空間的消防問題層面，辦公室在安全考量上通常最為簡單，防火設備多半僅為 CO2 和乾粉等滅火器材，再配合緊急應變計畫，必須特別注意是電氣安全管理。 在無塵 ( 潔淨 ) 室方面，消防器材建置相對複雜，包括火警偵測系統、滅火系統等，尤其在滅火器材上，NFPA 318 本身就有明確規範，不僅能夠讓單一事件損失降至最少，更能因安全性提升來降低保費額度。

設備危害成為首要禍因
根據國內、外統計資料顯示，最容易發生火災事故為濕式清洗台，清洗溶液本身的閃火點都是低於室溫，為了加速清洗效果和速度，往往針對清洗台內部進行加熱動作，這就讓原本就處於危險狀況的清洗溶液，更可能因加熱而觸發火災事故。 在氣瓶櫃方面，主要運作流程是從氣體鋼瓶中釋放出化學原料氣體，經由管線輸送至閥間分盤 ( VMB )，再至現場操作面板( VMP )，最後到製程機台 ( TOOL )，當中就必須針對流程中的氣體洩露和發火等危險因子進行偵測和遮斷預防。 在化學液體原料防災方面，由於液體化學原料的輸送量大，管控上必須特別關注的是在「儲存空間」和「現場操作」。舉例來說，為了防止現場操作端的液體化學原料外洩而引發爆炸火勢，現場操作端都必須使用防爆電器，又如儲存空間除了必須採用防爆電器，也需採用不燃材質，更需設置偵測器和滅火系統等。

「訓練」和「實作」降低人因危害
必須重視設備使用和空間規劃等安全因素外，其實「人」在廠房的安全防護上也必須被加以探討，其中就涵蓋「訓練」和「實作」等重要層面。 一般都會遵循相關台灣勞工安全規範，即針對新進員工進行 6 小時的危害通識和安全衛生等基礎訓練；在職人員則會進行 OHSAS 18001 和 TOSHMS 等教育訓練。 人員穿著搶救設備方面，可以簡單分成「氣體」和「液體」的搶救，一旦面對氣體、液體等外洩狀況時，搶救人員必須背負自攜式呼吸器，且視災害現況穿著適合的防護衣。

法規只是輔助 安全取決業主
雖說高科技廠房安全建置遠高於其他產業，但事實上，高科技廠房的安全建置仍面臨亟待解決的問題。在法規層面上，當前台灣消防法規仍不足以提供高科技廠房在安全做法上的最佳規範，其實政府必須針對不同產業特性來定訂符合所需規範。再者，人的最大問題在於人員流動方面，仍有許多大型的高科技廠房沒有積極累積安全文化的認知。至於機台設備的安全問題將涉及到市場層面，當設備銷售規模足以影響整個全球市場時，安全問題自然會受到重視。