本份指引（文件標號2025-3-5）因應產業急迫需求，由SEMI Taiwan ESH委員會於2024年成立工作小組研擬，並於2025年2月提出初版草案，未來經SEMI Taiwan ESH委員會工作小組核准後供產業使用。如對本份指引有任何建議，請聯絡本指引工作小組共同召集人黃建彰博士或席寶祥博士。本份指引（文件標號2025-3-5）因應產業急迫需求，由SEMI Taiwan ESH委員會於2024年成立工作小組研擬，並於2025年2月提出初版草案，未來經SEMI Taiwan ESH委員會工作小組核准後供產業使用。如對本份指引有任何建議，請聯絡本指引工作小組共同召集人黃建彰博士或席寶祥博士。