身為全球半導體龍頭的台積電，面臨工業4.0與智慧製造的發展，自然也扮演著領頭羊的角色，導入移動式工業用機器人（MR）與自走車（AGV）。
台積電企業環保安全衛生處經理黃中一指出，目前台積電最早的二廠已有26～27年，早期6吋及8吋晶圓廠自動化程度受限於當時科技尚未成熟，生產過程需要作業人員在機台間搬運晶片盒。待近年自動化技術成熟後，12吋晶圓廠便在建廠時規劃自動化搬運系統，大幅減少人員的勞動。
由於人機協同已是國際趨勢，台積電規劃的晶圓運輸系統，將機器手臂設於AGV上，過去需靠人員採料的品保（QA）、品管（QC）工作，現在則交由AGV，甚至許多檢查工作可透過工業照相機每日拍照比對，藉此找出異狀。而晶片搬運涉及定位與精準度，在導入過程中亦是極大挑戰，例如路線設定好後不能臨時施工出現圍籬，對於推車、施工期間都得有檢查機制以避免機器誤判。
黃中一說明，移動式協同機器人的要求包含機器手臂、自走車、電池、充電站等安全，機器若運作較長時間需用鋰電池，然鋰電池會產生靜電，三星、特斯拉電池爆炸起火事件仍殷鑑不遠，在採用上須謹慎小心，包括電池的更換、充電站都須注意，不論是鋰電池或充電站，台積電都要求需符合UL相關規範。而針對熊本地震讓半導體工廠停擺，台積電也找國震中心進行機台實際搖測，要求須通過7級耐震測試確認符合SEMI S17機械人耐震標準、職安法規，防止機器人傾倒與晶片盒掉落影響逃生。
工廠並非引進AGV即可，除導入協作機器人的預算外，包括機台與取料位置、施工設施都需跟著改變。初期或許投資金額龐大，但其效益會在未來逐漸顯現。
（本文取材自8月22日「AIoT時代廠房&製程安全防災新挑戰」研討會，相關議題請參考
https://www.asmag.com.tw/seminar/2018aiot_hc/）